>
Dersin Adı Dersin Kodu Dersin Türü Dersin Düzeyi Dersin Yılı Dersin Verildiği Dönem AKTS Kredisi
Yarı İletken Üretim Teknolojisi MEH569 Seçmeli Yüksek lisans 1 Güz 10

Öğretim Elemanı Adı

Prof. Dr. Ali TANGEL

Dersin Öğrenme Kazanımları

1) Yarı iletken üretim teknolojisindeki temel adımları tasarımda kullanır
2) MOS üretim teknolojisinde çalışır
3) Bipolar üretim teknolojisinde çalışır
4) BiCMOS üretim teknolojisinde çalışır
5) Sentaurus , Tsuprem-IV gibi TCAD süreç simulasyon programlarını kullanır

Program Yeterliliği İlişkisi

  Program Yeterlilikleri
1 2 3 4 5 6 7
Öğrenme Kazanımları
1              
2              
3              
4              
5              

Eğitim Şekli

Yüz Yüze

Ön Koşullar, Diğer Koşullar

Yok

Önerilen Destekleyici Dersler

VLSI Tasarım Elektronik-1 Elektroik-2

Dersin İçeriği

Yarı iletken pul büyütme Fotolitografi Oksit katman büyütme Kaplama Eritme Epitaksiyel büyütme İyon Ekme Metalizasyon Kılıflama Bipolar Proses MOS Proses CMOS Proses BICMOS Proses TCAD proses benzetim araçları

Önerilen/İstenen Ders Kaynakları

Planlanan Öğrenim Faaliyetleri Ve Eğitim Yöntemi



Değerlendirme Yöntemi ve Ölçütleri

Ara Sınav Notunun Başarıya Oranı

40%

Yarıyıl Sonu Sınavının Başarıya Oranı

60%

Toplam

100%

Dersin Eğitim Dili

Türkçe

Mesleki Uygulama

İstenmemekte